作为无尘室厂房的装修工程设计的先导步骤,工艺设计需要在满足电子产品生产要求的前提下合理进行无尘室厂房的装修工程生产设备布局,合理确定各种公用动力设施的技术参数,做到能量消耗少、运行费用低、生产效率高和建设投资少;同时,还需要合理进行人流路线、物料运输和仓储设施的配置和布置,满足电子产品无尘室厂房的装修工程生产要求和产品生产工艺要求;此外,还应该尽可能提升生产设备的自动化水平和物料运输的自动化水平,在经济、实用、安全可靠的条件下提高生产效率。
据调查表明,集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一般采用隧道式和开放式,其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂,生产设备横跨洁净生产区和设备维护区,洁净生产区对洁净度要求严格,而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。
换气次数:100000级≥18次;10000级≥30次;1000≥50次。
据调查表明,集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一般采用隧道式和开放式,其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂,生产设备横跨洁净生产区和设备维护区,洁净生产区对洁净度要求严格,而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。
触摸屏车间洁净要求:
LCD无尘车间净化其净化洁净度一般为万级,局部千级要求,部分要求恒温恒湿。
1、无尘车间安装室内空气参数要求:
1-1温湿度要求:温度一般为23+2℃,相对湿度为55+5%。
1-2新风量大。由于这类净化无尘车间内人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流净化无尘室车间总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。
1-3送风量大。为了满足无尘净化车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是千级净化无尘车间,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);
1-4压差:主车间对相邻房间≥5Pa
1-5平均风速:100级:0.3-0.5m/s;
1-6噪声≤65dB(A);
1-7照度≥300LX
压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;
温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX.