无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高效率的设计和高效率设备需要很大的前期投入。那种"小处节约大处浪费"的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中 。
小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于高效过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。
与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时(驻极体材料)，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大。改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变。如果你知道材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。
