电子无尘室管理规范
目录
0. 目录 (Table of content)
1. 大纲(Introduction)
1.1 范围(Scope)
1.2 目的(Purpose)
2. 引用文件(Reference document)
3. 名词定义(Definition)
4. 无尘室管理规范程序
4.1 无尘室洁净度等级区分及区域定义
4.1.1 面板制造
4.1.2 模组制造
4.2 无尘衣/鞋/帽穿著使用规定
4.2.1 各区无尘衣穿著规定
4.2.2 无尘衣换洗规定
4.2.3 无尘衣之破损与缝补
4.2.4 无尘衣识别系统
4.3 无尘室进入资格之取得
4.3.1 一般员工
4.3.2 高阶主管
4.3.3 来宾(厂商)
4.3.4 无尘室进入资格取得之流程
4.4 无尘室进入资格之取消
4.5 无尘室资格考试
4.6 无尘室进出管制规定
4.6.1 人员之限制
4.6.2 物品之限制
4.7 进入无尘室之程序
4.7.1 人员进入无尘室之流程
4.7.2 物品进入无尘室之流程
4.7.3 仪器设备进入无尘室之流程
4.8 无尘衣穿著程序
4.8.1 连身式无尘衣穿著程序
4.9 无尘衣穿著步骤
4.9.1 连身式无尘衣穿著步骤
4.10 无尘衣穿著注意事项
4.11 无尘衣穿著检查要项
4.12 无尘室一般禁止及注意事项
4.13 来宾(厂商)进入无尘室注意事项
4.14 无尘室安全注意事项
4.15 无尘室清洁方式
5. 使用窗体(Form used)
6. 变更记录(Change Record)
1. 大纲(Introduction)
1.1范围(Scope)
凡进入无尘室内所有人、机器设备、物品、原物料、产品……等，均属本规范之管制范围。
1.2目的(Purpose)
为维持无尘室内洁净度，管制污染源控制环境参数，特对于无尘室内之人、设备、物品、原物料等加以管制，以俾能确保无尘室内洁净度符合产品制程之需求，并提高产品之品质。
2. 参考文件(Referenced Document)
无
3. 名词定义(Definition)
本规范除下列所述名词外，均依照JIS Z 8122(Contamination Control术语)。
无尘室 Particle被控制在规定值内之房间
粒子(Particle) 一般而言指0.001至1000μm之粒径的固体或液体之物质
4.无尘室管理规范程序
4.1无尘室洁净度等级区分及区域定义
4.1.1面板制造
A区(Class 1000级)：面板无尘室(液晶注入、压合封口室)。
B区(Class 10 000级)：其余面板制造区域。
4.1.2 模组制造
C区(Class 1000级)： COG、貼片、組立室。
D区(Class 10 000级)：其余模组制造区域
4.2无尘衣/鞋/帽穿著使用规定
4.2.1区无尘衣穿著规定
A、B、C、D区：
1.进入或在此区内工作的人员，均须穿著Class 100级连身式无尘衣、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。
2.来宾则穿著Class 100级来宾专用黄色无尘衣、长统式无尘鞋、戴网帽、口罩及手套。
4.2.2无尘衣换洗规定
面板后段、模组：面板注壓站、LC液晶調配人員、清洗人員无尘衣须每周清洗一次，模組COG站、貼片站、組立站無塵衣須每周清洗一次，其他站組兩周清洗一次。
4.2.3無尘衣之破损与缝补
无尘衣若有破损、拉炼损坏、松紧带松弛、魔术粘掉落….等情况发生时，该件即应立即停止使
用，若可修补者应将其置于待修补区，若已达无法修补者则应将其报废，领用新品使用。
4.2.4無尘衣识别系统
無尘衣及鞋只有编号, 然后依领取名单纪录识别
4.3无尘室进入资格之取得
4.3.1 一般员工：凡经常于无尘室内工作或不定期会进入无尘室者，均应先上过『无尘室管理规范』或其它相关课程，并通过考试合格后，才具无尘室进出资格，考试合格人员由模组制造部造册列管，然后才可向制造部领取无尘衣等相关物品。
4.3.2 高阶主管：熟知并了解无尘室管理规范及其它各项相关规定后，即具无尘室进出资格。
(高阶主管定义：经(副)理以上人员)
4.3.3 来宾(厂商)：应由接待部门具无尘室出入资格者，在相关人员全程陪同下才能进入无尘室。
4.3.4无尘室进入资格取得之流程：
4.4无尘室进入资格之取消
若有下列情况发生时则取消其无尘室进入资格：
¬人员离职时或留职停薪期间超过3个月者。
违反无尘室管理规范或其它各项相关规定情节重大者。
®无尘室管理规范或其它各项相关规定有大幅度之修改，而需取得重新认证时。
4.5无尘室资格考试
考前准备：考试前应由制造部统一讲授 -- 无尘室管理规范及其它各项相关规定。
测验卷：共有A、B、C、D共4份测验卷，每份均为15题选择题及10题是非题，每题4分，
采不倒扣方式计分。
考试时间：10分钟。
及格分数：80分。
补考规定：第一次测验不合格者，得经再上课后补考一次，若仍不合格者即无法取得无尘室工作
资格。
定期考核：于每年1月份作教育训练及测验。
4.6无尘室进出管制规定
4.6.1人员之限制
(1)公司员工：a.因职务之需要必须进入无尘室内工作者，须先上过『无尘室管理规范』及其
它无尘室相关规定之课程，并通过考试及格后，才可进入无尘室。
b.针对于面板及模组制造课，因产能急需而临时新增之人员，需由该负责站组组长先口头讲解；且该临时新增之契约工须于1个月内，完成无尘室相关规定之课程，并通过考试及格。
(2) 非公司员工：为维持无尘室洁净度之要求及避免生产作业受到不必要之干扰，以确保产品
之品质，除下列情况外，均谢绝进入无尘室参观：
¬督导单位长官或评鉴/稽核人员视察。
重要客户或供货商了解现场作业情况。
®仪器/设备之维修工程师或外包施工厂商。
¯本公司聘雇之顾问或专家。
(3) 非公司员工进入无尘室时，必须有接待或相关部门人员全程陪同。
(4) 来宾进入无尘室之申请程序：来宾须进入无尘室时，应由接待或相关部门人员向制造部主
管提出申请，取得核准后始可进入无尘室。
(5) 进入无尘室均须刷卡进入。
4.6.2 物品之限制
(1) 非生产或工作所需之物品一律禁止携入无尘室。
(2) 纸类物品(非无尘纸)禁止携入无尘室，若必须携入时则须护贝或加塑料护套。
(3) 下列物品一律禁止携入无尘室：
¬铅笔、橡皮擦、修正液(修正带)等易发尘或挥发之文具。
普通纸类、纸箱、普通笔记簿、纸制活页夹等。
®木制物品且表面无聚乙稀等物质包覆者。
¯铁制物品且未作防锈处理而有生锈之虞者。
°脏污或外表生锈之物品。
±保丽龙类物品。
²其它易污染环境或制造particle之物品。
(4) 物品携入无尘室前，必须先擦拭干净，才可带入无尘室。
4.7进入无尘室之程序
4.7.1人员进入无尘室(CR)之流程：
4.7.2物品进入无尘室之流程：
4.7.3仪器设备进入无尘室之流程：
4.8无尘衣穿著程序
4.8.1连身式无尘衣穿著程序：
4.9无尘衣穿著步骤
4.9.1 连身式无尘衣穿著步骤
(1) 戴上手套
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(2) 戴上网帽、口罩
(3) 先确认衣服正面朝前并穿上双袖
(4)套在头上，露出脸部
(5)将头部魔鬼粘扣上
(6)并扣上颈部魔鬼粘
(7)穿上裤脚
(8)将胯下拉炼由一端拉至另一端(拉炼开口不可露出，必须被长统无尘鞋盖住)
(9)穿上无尘鞋
4.10无尘衣穿著注意事项
(1) 换下之拖鞋请整齐置于指定处所。
(2) 清洗干净且包装好之无尘衣/鞋/帽等，请放置于个人衣柜内。
(3) 使用中之无尘衣，应整齐吊挂于Clean Booth(HEPA)之衣架上，以维持高洁净度。
(4) 换穿无尘衣过程中，应尽量避免无尘衣接触地面。
(5) 戴网帽时应尽量将头发都包覆在内，勿使其外露。
(6) 无尘衣拉炼均应拉到底；扣子应扣好；魔术粘亦应粘妥。
(7) 无尘衣穿著应松紧适中，不可过松或太紧(可利用腰带来调整松紧度)。
(8) 无尘衣若有破损时，不可继续穿著，应修补后才可使用(若不堪修补时应报废更换新品)。
(9) 穿无尘鞋时，应穿著袜子以维持个人卫生。
(10) 穿无尘鞋时应全脚穿入，不可踩住鞋后跟。
(11) 穿上无尘衣后，便服裤脚不可外露应包覆在无尘衣内。
(12) 口罩应遮住口、鼻不使其外露。
(13) 手套应完全塞入无尘衣之袖口内。
(14) 穿著无尘衣或戴口罩、手套时，不可边走边穿戴。
(15) 不可随意穿著他人之无尘衣、鞋。
(16) 无尘室内不可打瞌睡。
(17) 原则上网帽、口罩、手套之更换频率如下：
网帽每周更换一次，若脏污或破损时则立即更换。
口罩每2天更换一次，若脏污或破损时则立即更换。
手套每次进出更换一次，若脏污或破损时则立即更换。
4.11无尘衣穿著检查要项
穿好无尘衣进入Air Shower前，应于镜子前检查下列各项：
(1) 头发、网帽不可外露。
(2) 口、鼻不可外露。
(3) 裤脚不可外露。
(4) 无尘衣、鞋不可破损或脏污。
(5) 无尘衣、鞋之拉炼、扣子、魔术粘等，应拉好不可松脱。
(6) 手套端缘不可外露。
4.12无尘室一般禁止及注意事项
(1) 未取得无尘室进入资格者，不得进入无尘室。
(2) 严禁裸手接触产品。
(3) 严禁坐卧桌面、脚踏板、地板、垃圾桶、护栏，以及斜靠机台或储存柜。
(4) 应随时注意各项公告及标语。
(5) 应主动相互支持，但不可单独操作未认证合格之机台。
(6) 大家应随时取缔、纠正不合规定之人员、物品、标示等，并通知相关主管。
(7) 应随时注意头发、口、鼻不可外露。
(8) 不可将无尘衣、帽等随意置于地板上。
(9) 只能在更衣室内穿、脱无尘衣，不可在其它地方为之。
(10) Air Shower前后两门不可同时开起。
(11) 无尘室内严禁奔跑、嬉戏、喧哗、睡觉等。
(12) 无尘室内严禁吃东西或喝饮料。
(13) 无尘室内应避免多人聚集在一起，以免制造particle。
(14) 剧烈运动或流汗后，不可立即进入无尘室，需待呼吸平稳且不再流汗后，方可进入。
(15) 抽烟结束后不可马上进入无尘。
(16) 不可将一般用纸、笔记本、纸箱、卫生纸、书籍、铅笔、修正液、橡皮擦等非无尘用
品携入无尘室。
(17) 严禁于无尘室内磨、锉、锯，砂纸、磨料….等，亦禁止使用。
(19)无尘室内工作人员，应保持头发、身体之清洁，并经常盥洗。
(20)进入无尘室的人员禁止使用香水、口红、发胶及其它化妆品，若有化妆者应先卸妆后
才可进入。
(21)原物料进入无尘室，需先在外面拆箱并擦拭干净后才可进入无尘室。
(22)不可面对产品、Cassette或机台之chamber交谈。
(23)即使已戴手套，亦须减少对产品做非必要之碰触。
(24)无尘室内文件、半成品、物品或生产工具，非经部门主管允许，不可携出。
(25)谈话时不可拉下口罩交谈。
(26)在无尘室内使用电话，宜简短扼要，勿占线。
(27)无尘室内逃生路线，不可有障碍物阻碍逃生。
(28)无尘室内产品、化学品、Cassette、工具、文件、记录簿……等，应放置整齐。
(29)进入Air Shower前，双脚应先踏脚踏粘垫，将无尘鞋底之脏污去除。
(30)吹Air Shower时应站好，不可斜靠在墙面上。
(31)各Air Shower均有规定人数，不可超过所规定人数，若人数过多时应分批进入。
(32)安全门仅供紧急状况时使用，平时严禁由安全门进出。
(33)无尘衣/鞋不可穿出无尘室外，静电鞋亦不可穿出工厂外之区域。
(34)无尘室中使用的无尘纸不可脏污，回收在利用的无尘纸背面需加盖作废章。
4.13来宾(厂商)进入无尘室注意事项
进入无尘室前必须先申请，并取得许可，始可由相关人员陪同进入。
(1) 来宾在无尘室内活动须全程有相关人员陪同。
(2) 无尘室内不可摄影或拍照。
(3) 不可携带违禁品进入无尘室。
(4) 来宾进入无尘室须穿著来宾专用无尘衣。
(5) 来宾或厂商进入无尘室，未经允许不可任意操作机台。
4.14无尘室安全注意事项
(1) 操作机台前，必须先认证合格取得操作资格后，才可独立操作机台。
(2) 特殊作业请确实依照操作规范之相关规定。
(3) 油、水、化学品等液体漏洒于地面(桌面)或机台时，应迅速清除以免发生危险。
(4) 走道应保持畅通，不可有阻碍，以免妨碍逃生信道。
(5) 无尘室内不可存放易燃品，如系工作所需则必须有安全防护措施。
(6) 机台或无尘室中之各项安全措施，不可任意关闭或by-pass，若有损坏应迅速修复。
(7) 工作人员如发现任何危害安全之行为、物品、状况等时，除立即采取必要措施外，亦
应尽速向主管报告。
(8) 工作中应时时注意各项安全警告标语或注意标语，并确实遵守。
(9) 急救箱、灭火器、氧气筒及其它安全急救消防等装备，须置于指定位置。
(10) 各类清洁液、有机溶剂、化学品等之瓶盖，于使用后应立即盖紧。
(11) 于无尘室内进行施工或维修时，若有登高、动火或其它特殊作业时，应先向行政管理及模组制造部主管部门取得许可并知会生产线。
(12) 应避免单独1人于无尘室内工作。
(13) 操作雷射等高能光源时，眼睛不可直视光源，以免发生危险。
(14) 应每日检查各项安全护具、装备，并保持随时可用之状态。
4.15无尘室清洁方式
(1) 面板和模组的无尘室清洁则由现场作业人员负责
(2) 范围包含：洁净室地板、垃圾桶、Air-shower、更衣室等
--洁净室地板使用无尘拖把毎天清扫一次，用水擦拭地板，毎周清洁一次
--更衣室、垃圾桶毎天清理一次
-- Air-shower用无尘布沾水擦拭四周和玻璃，毎天清理一次
--毎日例行性的清洁后，需填写清洁记录表
--模组制造课领取无尘布，需填写无尘布领用纪录&回收纪录表
--無塵室各站組設定進入風淋門時，腳踏之粘無塵鞋墊板必須按時點檢且記錄於《粘無塵鞋墊板清潔點檢表》中
5. 使用窗体
FSQS-755/0017/C4/14/01A 来宾入无尘室申请单
FSQS-755/0017/C4/14/02A 无尘室工作人员管理名册
FSQS-755/0017/C4/14/03A 无尘室清洁记录表
FSQS-755/0017/C4/14/04A 无尘布领用&回收纪录表 FSQS-755/0017/C4/14/05A 无尘衣/鞋申领单FSQS-755/0017/C4/14/06A 粘無塵鞋墊板清潔點檢表
6. 变更记录
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日期 |
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變更內容 |
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A1 |
2007/01/12 |
6/11 |
新增（4.8.1）Air Shower(10s) |
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A2 |
2007/04/17 |
7/11 |
更新無塵衣穿著規范圖片 |
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A3 |
2007/07/25 |
10-11/11 |
增加表單《粘無塵鞋墊板清潔點檢表》 |
